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    4. 玻璃通孔(TGV)

      Through Glass Via(TGV)

      技术规格展示

      参数 TGV规格
      材料 玻璃、石英等
      晶圆尺寸 4”、6”、8”、12
      最小厚度 0.2mm(<6)、0.3mm(8)、0.35mm(12)
      最小孔径 20μm
      通孔斜度 3~8°
      通孔间距 50μm、100μm、150μm等
      最大深宽比 1:10
      金属镀层 可加工

      * 备注:可以根据客户需求定制


      参数 TGV规格
      材料 玻璃、石英等
      晶圆尺寸 4”、6”、8”、12
      最小厚度 0.2mm(<6)、0.3mm(8)、0.35mm(12)
      最小孔径 20μm
      通孔斜度 3~8°
      通孔间距 50μm、100μm、150μm等
      最大深宽比 1:10
      金属镀层 可加工

      * 备注:可以根据客户需求定制


      用途

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